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半導(dǎo)體材料真空探針臺(tái)電學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:半導(dǎo)體材料真空探針臺(tái)電學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)是一種能夠在高真空環(huán)境下進(jìn)行精確測(cè)量和實(shí)驗(yàn)的設(shè)備。其基本原理是利用真空環(huán)境下的物理現(xiàn)象和特性,對(duì)樣品進(jìn)行各種實(shí)驗(yàn)和測(cè)量。在高真空環(huán)境中,氣體分子很少,這有助于減少空氣阻力、空氣振動(dòng)和其他干擾因素,從而獲得較為準(zhǔn)確和可靠的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):CGO-2
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-02-28
  • 訪  問  量:334

詳細(xì)介紹

品牌HUACE/北京華測(cè)應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子/電池,電氣,綜合


半導(dǎo)體材料真空探針臺(tái)電學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)


半導(dǎo)體材料真空探針臺(tái)電學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)


半導(dǎo)體材料真空探針臺(tái)電學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)產(chǎn)品參數(shù):

腔體

型號(hào):CGO-2

樣品臺(tái)尺寸2英寸

樣品固定:樣品固定

觀察窗口2英寸

真空度10-6 torr

針臂接口:最6個(gè)探針臂接口

其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式:液氮 / 液氦

控制方式:開循環(huán)手動(dòng)

溫度范圍:77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K


顯微鏡

X-Y-Z 移動(dòng)行程:50mm×25mm×13mm

結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度:10μm / 1μm

光源:外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源

CCD:200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素


探針座

X-Y-Z 移動(dòng)行程:X-Y-Z 移動(dòng)行程

結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度:10μm / 1μm


探針夾具

線纜:同軸線 / 三軸線 / 射頻線

漏電精度:10pA / 100fA / 10fA

固定探針:彈簧固定 / 螺絲固定

接頭類型:BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口


探針

射頻支持:DC-67GHZ

針尖直徑:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質(zhì):鎢鋼 / 鈹銅

真空組件:分子泵組 / 機(jī)械泵

冷源組件:50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機(jī)

外形重量:730mm×750mm×1265mm(長寬高)      約100kg



防震桌參數(shù)

氣浮隔振防震桌

隔振方式:隔振方式

材質(zhì):不銹鋼 / 碳鋼

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:<0.8μm

孔距:25×25mm

孔徑:M6

平臺(tái)尺寸(長寬):可定制

平臺(tái)厚度:50 / 100 / 200mm

固有頻率:.5Hz - 2Hz

支撐腿:氣浮支撐腿

支撐腿數(shù)量:4個(gè) / 6個(gè)

支撐腿高度:800mm±10mm

其他:內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制


半導(dǎo)體材料真空探針臺(tái)電學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)

半導(dǎo)體材料真空探針臺(tái)電學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)



真空探針臺(tái) 外置探針臂










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