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高溫四探針測試儀測試電阻率的原理及優(yōu)勢

更新時間:2024-01-09      點擊次數(shù):1654


可評估薄膜導電的高溫四探針測試儀采用直排四探針法設(shè)計原理測量。主要用于評估半導體薄膜和薄片的導電,參考美國 A.S.T.M 標準設(shè)計。重復性與穩(wěn)定性好,采用雙屏蔽高頻測試線纜,提高測試參數(shù)的精確度,同時。本設(shè)備也可應用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學研究等用途。

高溫四探針測試儀的測量原理

  • 測量電阻率的方法很多,如三探針法、電容-電壓法、擴展電阻法等,四探針法則是一種廣泛采用的標準方法,高溫四探針測試儀采用經(jīng)典直排四探針原理,同時采用了雙電測組合四探針法。

  • 經(jīng)典的直排四探針法測試電阻率,要求使用等間距的探針,如果針間距離不等或探針有游移,就會造成實驗誤差。當被測片較小或在大片邊緣附近測量時,要求計入電場畸變的影響進行邊界修正。

  • 采用雙電測組合四探針的出現(xiàn),為提高薄膜電阻和體電阻率測量準確度創(chuàng)造了有利條件。

高溫四探針測試儀采用雙電測組合四探針法的優(yōu)勢


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